Deep Learning
[Paper Review] 액티브 러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 신규 불량 패턴 검출
논문 정보 액티브 러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 신규불량 패턴 검출(황성진, 김성범) 0.Abstract CNN-based deep learning models을 통해 정확하게 웨이퍼 빈 맵(WBM)의 결함 패턴을 분류하기 위해선 정확한 결함 패턴의 label이 반드시 있어야 한다. 하지만 현실에선 엔지니어가 모든 데이터에 label을 다는 것은 많은 시간과 노력이 필요하다. 현재 CNN-based 연구들은 실제 상황에서 빈번하게 발생하는 새로운 결함 패턴을 찾지 못하는 한계점을 가지고 있다. 본 논문에서는 Active Learning에 기반한 새로운 결함 패턴 탐지 방법을 제안한다. 또한 모델 훈련 단계에서 사용되지 않은 새로운 결함 패턴을 빠르게 탐지하는 새로운 프레임워크 또한 제안한다. 본 방식의 유..
